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空气净化治1疗方案的净化工程

净化系统净化空气调节系统，并且除了DC风扇系统设置值班，将要采取的防止外界污染空气通过防止下沉在车间空气供给口引入净化措施。

空气过滤器装置的选择和安装，应满足：首先***空气过滤器应选择上油过滤器;效率空气过滤器应提供浓缩清洗空调系统压力部; HEPA过滤器或亚效空气过滤器应被布置在净化空调系统终端，***空气过滤器的安装应简单可靠，应该泄漏检测和替换;实际上，亚***，***空气过滤器应根据额定风来选择;相似性和效率HEPA过滤器应放置在同一车间纯化。

净化工程无尘车间内需求装置的净化设备：手段无尘净化车间系统回风，回风，初效过滤器，中效回风箱。

确定集中或分散的吹扫空气调节系统应考虑在生产过程的特性和区域的车间空气洁净度水平，位置的纯化因子。其中的连续生产过程中，洁净室或更大的净化车间，和焦点位置控制和振动噪音控制要求严格的洁净室，净化应当集中空调系统。

净化工程无尘车间内需求装置的净化设备

要装置清洁净化车间入口系统，新鲜空气滤清器箱，中心吹扫空气调节器在与HEPA结束（空调净化中心分为初效/中/释放滤波器部三个高），如果必要的话，配备通过压箱清洗。

光微电子净化工程

微电子光学定义为在一定范围的灰尘颗粒，***空气，阴性***等，而室内的温度和湿度，清洁度的分布，腔室压力，气体流速和气体流量的空气空间内的污染物的净化，噪声和振动和照明，在一个范围内的需要的静电控制，并给予专门为密闭空间而设计的。

吹扫空气调节系统的设计应合理利用返回空气，其中，被施加产生大量的***物质，并且不能符合卫生要求的局部治1疗，***，或其他过程的过程的返回的空气。

净化工程设计：

该过程中，应加强对微电子行业，光学净化工程设计，分析，了解，根据项目是新建筑还是老厂的改造工程，与具体的生产技术相结合，生产工艺等方面的要求，以确定的洁净度他们的需求，温湿度。

光微电子净化工程材料

重力平地面可以是环氧树脂地板或地板高耐磨塑料，抗静电涂层是必需的，抗静电的类型的选择。